Miniaturized beam deflector with internal feedback
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230038824 |
| HGF-Programm | 41.07.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Micro System Technologies '96, Berlin, September 18-20, 1996 |