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Miniaturized beam deflector with internal feedback

Gebhard, U.; Hein, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230038824
HGF-Programm 41.07.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Micro System Technologies '96, Berlin, September 18-20, 1996
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