Preparation of 1-2-3 films by ECR-plasma sputtering

Krupke, R.; Ulmer, G.; Kurzmeier, M.; Linker, G.; Schneider, R.; Ratzel, F.; Smithey, R.; Meyer, O.; Geerk, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230038866
HGF-Programm	34.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Applied Superconductivity Conf., Pittsburgh, Pa., August 25-30, 1996