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Activities in microfabrication based on the LIGA process at Forschungszentrum Karlsruhe

Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230038927
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Vortr.: Argonne Photon Source, Chicago, Ill., 9.Februar 1996
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