KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Activities in microfabrication based on the LIGA process at Forschungszentrum Karlsruhe

Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230038927
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Argonne Photon Source, Chicago, Ill., 9.Februar 1996
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page