Activities in microfabrication based on the LIGA process at Forschungszentrum Karlsruhe
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230038927 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Argonne Photon Source, Chicago, Ill., 9.Februar 1996 |