Feinstwerktechnik - Mechanische Mikrotechnik in Metall

Guber, A. E.; Bier, W.; Schubert, K.

Zugehörige Institution(en) am KIT	Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1996
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230039000
HGF-Programm	41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Neue Produktionsideen in der Sputter- und Feinstwerktechnik, Info-Veranstaltung an der IHK, Pforzheim, 27.Februar 1996

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