Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1996 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230039000 |
HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Neue Produktionsideen in der Sputter- und Feinstwerktechnik, Info-Veranstaltung an der IHK, Pforzheim, 27.Februar 1996 |