| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230039000 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Neue Produktionsideen in der Sputter- und Feinstwerktechnik, Info-Veranstaltung an der IHK, Pforzheim, 27.Februar 1996 |