KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Electroplating processes utilized in LIGA-technology featuring high aspect ratios

Bade, K.; Bacher, W.; Thommes, A.; Rogge, B.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230039156
HGF-Programm 41.01.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Electrochemical Microsystem Technologies, Düsseldorf, August 28-30, 1996
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page