Electroplating processes utilized in LIGA-technology featuring high aspect ratios
Bade, K.
; Bacher, W.; Thommes, A.; Rogge, B.
; Bacher, W.; Thommes, A.; Rogge, B.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230039156 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Electrochemical Microsystem Technologies, Düsseldorf, August 28-30, 1996 |