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Micro-optical components and systems fabricated by the LIGA technique

Mohr, J.; Göttert, J.; Müller, A.; Müller, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230039191
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Free-Space Micro-Optical Systems, Engelberg, CH, April 1-3, 1996
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