Micro-optical components and systems fabricated by the LIGA technique

Mohr, J.; Göttert, J.; Müller, A.; Müller, C.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230039191
HGF-Programm	41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Free-Space Micro-Optical Systems, Engelberg, CH, April 1-3, 1996