Modular molding equipment for quasi monolithic integration of micromechanical and microelectronic components
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230039359 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | France-Japan-Congress on Mechatronics, Besancon, F, October 1-3, 1996 |