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Herstellung von Mikrolinsen durch Kombination von Siliciumtechnik, Mechanischer Mikrofertigung und Kunststoffabformung

Köhler, U.; Guber, A.E.; Bier, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230039402
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 4.Statusseminar MINOP, Karlsruhe, 13.Juni 1996
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