Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1996 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230039421 |
HGF-Programm | 41.07.02 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 4.Statusseminar MINOP, Karlsruhe, 13.Juni 1996 |