Electrostatically actuated polymer microvalve equipped with a movable membrane electrode

Goll, C.; Bacher, W.; Büstgens, B.; Maas, D.; Ruprecht, R.; Schomburg, W. K.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230039422
HGF-Programm	41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Micro Mechanics Europe, Barcelona, E, October 21-22, 1996