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Electrostatically actuated polymer microvalve equipped with a movable membrane electrode

Goll, C.; Bacher, W.; Büstgens, B.; Maas, D.; Ruprecht, R.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230039422
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Micro Mechanics Europe, Barcelona, E, October 21-22, 1996
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