Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1996 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230039423 |
HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Micro- and Nano Engineering '96, Glasgow, September 22-25, 1996 |