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Die automatisierte Montage optischer Mikrosysteme am Beispiel eines bidirektionalen Sende-/Empfangsmoduls

Gengenbach, U.; Müller, A.; Leipert, G.; Engelhardt, F.; Scharnowell, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230039427
HGF-Programm 41.05.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Mikrotechnik Thüringen 96, Jena, 5.Juni 1996
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