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Die automatisierte Montage optischer Mikrosysteme am Beispiel eines bidirektionalen Sende-/Empfangsmoduls

Gengenbach, U.; Müller, A.; Leipert, G.; Engelhardt, F.; Scharnowell, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230039427
HGF-Programm 41.05.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Mikrotechnik Thüringen 96, Jena, 5.Juni 1996
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