Die automatisierte Montage optischer Mikrosysteme am Beispiel eines bidirektionalen Sende-/Empfangsmoduls

Gengenbach, U.; Müller, A.; Leipert, G.; Engelhardt, F.; Scharnowell, R.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1996
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230039427
HGF-Programm	41.05.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Mikrotechnik Thüringen 96, Jena, 5.Juni 1996