Injection molding of LIGA and LIGA-similar microstructures

Ruprecht, R.; Hanemann, T.; Piotter, V.; Hausselt, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230039566
HGF-Programm	41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	2nd Internat.Congress Molded Interconnect Devices, Erlangen, September 25-26, 1996