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Injection molding of LIGA and LIGA-similar microstructures

Ruprecht, R.; Hanemann, T.; Piotter, V.; Hausselt, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230039566
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk 2nd Internat.Congress Molded Interconnect Devices, Erlangen, September 25-26, 1996
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