Micropump manufactured photolithography and diaphragm transfer

Büstgens, B.; Bacher, W.; Menz, W.; Schomburg, W. K.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230039617
HGF-Programm	41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Actuator '96, Bremen, June 26-28, 1996