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Micropump manufactured photolithography and diaphragm transfer

Büstgens, B.; Bacher, W.; Menz, W.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230039617
HGF-Programm 41.03.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Actuator '96, Bremen, June 26-28, 1996
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