LIGA-fabricated freestanding meshs for FIR-application

Gemünd, H. P.; Kreysa, E.; Ruprecht, R.; Bacher, W.; Roiberts, A.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230039623
HGF-Programm	41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	ESLAB Symp.Submillimeter and Far Infrared Space Instrumentation, ESTEC, Noordwijk, NL, September 24-29, 1996