CALIMA - a computer-controlled LIGA mask alignment system
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230039651 |
| HGF-Programm | 41.05.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Micro System Technologies, Potsdam, 17.-19.September 1996 |