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Microfabrication using silicon mold inserts and hot embossing

Lin, L.; Chiu, Ch.J.; Bacher, W.; Heckele, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230039776
HGF-Programm 41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 7th Internat.Symp.Micromachine and Human Science, Nagoya, J, October 2-4, 1996
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