Development of LIGA based microsystems and small-scale series production of system components

Bacher, W.; Hagena, O. F.; Mohr, J.; Schomburg, W. K.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1996
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230039777
HGF-Programm	41.06.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Internat.Fall Meeting of the Photo Chemical Machining Institute, Jerusalem, IL, October 13-16, 1996