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Development of LIGA based microsystems and small-scale series production of system components

Bacher, W.; Hagena, O.F.; Mohr, J.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230039777
HGF-Programm 41.06.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Internat.Fall Meeting of the Photo Chemical Machining Institute, Jerusalem, IL, October 13-16, 1996
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