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CAD-Werkzeuge für den Entwurf und die Qualitätssicherung von LIGA-Masken in der Mikrosystemtechnik

Eggert, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1997
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230040163
HGF-Programm 41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Universität Bremen, 8.Januar 1997
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