Werkstoffe und Verfahren der Mikrosystemtechnik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230040253 |
| HGF-Programm | 41.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Materialfachabend Main-Kinzig, Hanau, 11.November 1996 |