Mikrobearbeitung mit Nd: YAG-Lasern
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230040355 |
| HGF-Programm | 41.02.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Micro Engineering 96, Stuttgart, 11.-13.September 1996 |