Modellierung der Gasphasenabscheidung metastabiler piezoelektrischer ZnO-AIN-SiC Funktionsschichten
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230040417 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Werkstoffwoche '96, Stuttgart, 28.-31.Mai 1996 Kurzfassungen |