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Modellierung der Gasphasenabscheidung metastabiler piezoelektrischer ZnO-AIN-SiC Funktionsschichten

Holleck, H.; Kunisch, C.; Quandt, E.; Pawlik, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230040417
HGF-Programm 41.02.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Werkstoffwoche '96, Stuttgart, 28.-31.Mai 1996 Kurzfassungen
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