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Dünne Schichten fuer aktivische, sensorische und tribologische Funktionen in der Mikrosystemtechnik

Holleck, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230040422
HGF-Programm 41.02.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Symp.Mikrotechnik, Universität Bochum, 12.November 1996
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