LIGA-microtesting system using integrated strain gauges for force measurement
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230040739 |
| HGF-Programm | 41.02.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Micro Materials '97, Berlin, April 16-18, 1997 |