Design and application of a TE11 cavity for microwave plasma processing
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230040758 |
| HGF-Programm | 52.01.30 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 1st World Conf.on Microwave Processing of Materials, Orlando, Fla., January 5-9, 1997 |