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Design and application of a TE11 cavity for microwave plasma processing

Vollath, D.



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seit 14.05.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230040758
HGF-Programm 52.01.30 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 1st World Conf.on Microwave Processing of Materials, Orlando, Fla., January 5-9, 1997
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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