Molding process for the idustrial production of movable microstructures

Heckele, M.; Bacher, W.; Rötting, O.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1997
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230040977
HGF-Programm	41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	High Aspect Ratio Microstructure Technology (HAMRST '97), Madison, Wis., June 20-21, 1997