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Molding process for the idustrial production of movable microstructures

Heckele, M.; Bacher, W.; Rötting, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230040977
HGF-Programm 41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk High Aspect Ratio Microstructure Technology (HAMRST '97), Madison, Wis., June 20-21, 1997
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