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Characterization of microlenses fabricated by a modified LIGA-process

Gerlach, B.; Ilie, M.; Mohr, J.; Ruther, P.



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seit 14.05.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230040994
HGF-Programm 41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Microlens Array Conf., Teddington, GB, May 15-16, 1997
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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