Characterization of microlenses fabricated by a modified LIGA-process

Gerlach, B.; Ilie, M.; Mohr, J.; Ruther, P.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1997
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230040994
HGF-Programm	41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Microlens Array Conf., Teddington, GB, May 15-16, 1997