Multi-functional valve components fabricated by combination of LIGA processes and mechanical microengineering
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230041007 |
| HGF-Programm | 42.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | High Aspect Ratio Microstructure Technology (HAMRST '97), Madison, Wis., June 20-21, 1997 |