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Electroplating processes for fabrication of electromagnetic driven actuators within LIGA technology

Bade, K.; Thommes, A.; Bacher, W.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230041032
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk High Aspect Ratio Microstructure Technology (HAMRST '97), Madison, Wis., June 20-21, 1997
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