| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230041087 |
| HGF-Programm | 41.08.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: IHK, Heilbronn, 25.März 1997 |