Fluid driven oscillating micro actuator

Ruther, P.; Gebhard, U.; Hein, H.; Just, E.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1997
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230041090
HGF-Programm	42.01.07 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	9th Annual Internat.Meeting of the Society for Minimally Invasive Therapy SMIT, Kyoto, J, July 14-17, 1997