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Fluid driven oscillating micro actuator

Ruther, P.; Gebhard, U.; Hein, H.; Just, E.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230041090
HGF-Programm 42.01.07 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 9th Annual Internat.Meeting of the Society for Minimally Invasive Therapy SMIT, Kyoto, J, July 14-17, 1997
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