Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1997 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230041092 |
HGF-Programm | 41.02.04 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 1st Conf.on Motion Systems, Jena, September 29 - October 1, 1997 |