New developments for fabrication of microsystems

Piotter, V.; Hanemann, T.; Hausselt, J.; Ruprecht, R.; Thies, A.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1997
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230041426
HGF-Programm	41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	SPIE Symp.on Micromachining and Microfabrication, Austin, Tex., September 29-30, 1997