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New developments for fabrication of microsystems

Piotter, V.; Hanemann, T.; Hausselt, J.; Ruprecht, R.; Thies, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230041426
HGF-Programm 41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk SPIE Symp.on Micromachining and Microfabrication, Austin, Tex., September 29-30, 1997
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