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Al₂O₃/TiN as a material for microheaters

Winter, V.; Knitter, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230041441
HGF-Programm 41.02.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Micro Materials '97, Berlin, April 16-18, 1997
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