| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Toxikologie (ITOX) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230041700 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 9th Internat.Precision Engineering Seminar (IPES) and 4th Internat.Conf.on Ultraprecision in Manufacturing Engineering (UME), Braunschweig, May 26-30, 1997 |