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Photofabrication of the third dimension of NiTi shape memory alloy microactuators

Allen, D.M.; Leong, T.; Lim, S.H.; Kohl, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230041807
HGF-Programm 41.02.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk SPIE Symp.on Micromachining and Microfabrication, Austin, Tex., September 29-30, 1997
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