Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1997 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230041807 |
HGF-Programm | 41.02.04 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | SPIE Symp.on Micromachining and Microfabrication, Austin, Tex., September 29-30, 1997 |