Depth-profiling of non-uniform SiO₂ membranes used for a gas sensor microarray
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230042131 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | European Conf.on Applied Surface Science (ECASIA '97), Göteborg, S, June 16-20, 1997 |