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Depth-profiling of non-uniform SiO₂ membranes used for a gas sensor microarray

Goschnick, J.; Ehrmann, S.; Ache, H.J.



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seit 14.05.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230042131
HGF-Programm 41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk European Conf.on Applied Surface Science (ECASIA '97), Göteborg, S, June 16-20, 1997
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