Herstellung dünner SiCₓNsub(y)-Schichten mittels HF-Co-Sputtern und oberflächenanalytische Charakterisierung
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230042144 |
| HGF-Programm | 52.01.54 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 9.Tagung Festkörperanalytik, Chemnitz, 23.-26.Juni 1997 |