Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1997 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230042312 |
HGF-Programm | 41.04.03 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Micro Engineering 97, Stuttgart, September 24-26, 1997 |