Mikromembranpumpe P 200
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230042312 |
| HGF-Programm | 41.04.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Micro Engineering 97, Stuttgart, September 24-26, 1997 |