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Dünnschichtentwicklung für Aktoren und Sensoren

Quandt, E.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1997
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230042420
HGF-Programm 41.06.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk DGM-Fachausschuß Dünne Schichten, Karlsruhe, 28.Februar 1997
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