Phase separation in magnetron sputtered superhard BCN films

Ulrich, S.; Ehrhardt, H.; Theel, T.; Schwan, J.; Westermeyer, S.; Scheib, M.; Becker, P.; Oechsner, H.; Dollinger, G.; Bergmaier, A.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1997
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230042575
HGF-Programm	52.01.32 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Diamond '97, Edinburgh, GB, August 3-8, 1997