Fertigung von Komponenten der Mikrosystemtechnik unter Reinraumbedingungen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230042725 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Fachseminar Grundlagen der Reinraumtechnik und deren Anwendung in der Praxis, Essen, 2.-3.Dezember 1997 |