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Fertigung von Komponenten der Mikrosystemtechnik unter Reinraumbedingungen

Ruprecht, R.; Hagena, O. F.; Hausselt, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1997
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230042725
HGF-Programm 41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Fachseminar Grundlagen der Reinraumtechnik und deren Anwendung in der Praxis, Essen, 2.-3.Dezember 1997
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