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Simultan doppelseitige Beschichtung von 3-Zoll-Wafern mit HTSL-Filmen

Ratzel, F.; Rietschel, H.; Geerk, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1998
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230042844
HGF-Programm 34.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 62.Physikertagung gemeinsam mit der Frühjahrstagung DPG, Regensburg, 23.-27.März 1998 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, Bd.33 (1998) TT 22.5
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