Infrared gas analysis system based on a molded LIGA-microspectrometer

Krippner, P.; Mohr, J.; Ünal, H.; Wyzgol, R.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1998
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230042931
HGF-Programm	41.07.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Optical Spectral Analysis Microsystems, Engelberg, CH, April 6-8, 1998