Infrared gas analysis system based on a molded LIGA-microspectrometer
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230042931 |
| HGF-Programm | 41.07.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Optical Spectral Analysis Microsystems, Engelberg, CH, April 6-8, 1998 |