Produktionstechnik für bewegliche Mikrostrukturen am Beispiel des Beschleunigungssensors (PROBE)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230042942 |
| HGF-Programm | 41.04.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Karlsruher Arbeitsgespräche 1998 Produktion 2000, Karlsruhe, 12.-13.März 1998 |