| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230042943 |
| HGF-Programm | 41.02.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | SPIE 5th Conf.on Smart Structures and Materials, San Diego, Calif., March 1-5, 1998 |