Microstructure grooves less than 50 μm wide cut with ground hard metal micro end mills
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230043065 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 13th ASPE Annual Meeting, St.Louis, Mo., October 25-30, 1998 |