Mechanically cut microstructure grooves less than 50 μm wide with reduced burr

Schaller, Th.; Bohn, L.; Mayer, J.; Scherhaufer, D.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1998
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230043066
HGF-Programm	41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Micro System Technologies 98, Potsdam, December 1-3, 1998