Fabrication of polymer microcomponents with the AMANDA-process

Schomburg, W. K.; Ahrens, R.; Bacher, W.; Martin, J.; Saile, V.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1998
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230043218
HGF-Programm	41.06.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Eurosensors XII, Southampton, GB, September 13-16, 1998