| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230043221 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Micro System Technologies 98, Potsdam, December 1-3, 1998 |