Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1998 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230043221 |
HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Micro System Technologies 98, Potsdam, December 1-3, 1998 |